Hár-jafnstöðuþrýstingsstýrihringir grafíts eru aðalvirkir þættir hitasviðskerfisins í einkristalla kísilofninum með beinum toga (CZ). Þau eru nákvæmlega framleidd úr 4N/5N gervigrafíti með háum-hreinleika ísóstatískum þrýstingi og eru aðallega settir upp fyrir ofan grafítdeigluna, á innri og ytri hlið stýrirörsins og í kringum kristaltográsina.
Búnaðurinn starfar í langan tíma í lofttæmu umhverfi með óvirku andrúmslofti af argongasi, við hitastig á bilinu 1400 til 1600 gráður á Celsíus. Kjarnaaðgerðir þess eru meðal annars að stýra gasflæðinu, takmarka hitasviðið, staðsetja kristalstöngina, koma í veg fyrir að kísilgufa skvettist og koma í veg fyrir mengun óhreininda.
Uppsetningarstaður og burðarvirki
Dæmigert uppsetningarstaður
Það er komið fyrir í efri hluta varmasviðs einkristalofnsins, á milli bráðna kísilvökvayfirborðsins og efri einangrunarhlífarinnar, sem umlykur frækristalstöngina og vaxandi einkristallskísilstöngina. Sumar gerðir eru samsettar með flæðistýringarröri.
Aðalbygging
Heildarhringlaga-laga uppbygging, skipt í samþætta hringagerð, sérstaka samsetningu, þrepastaðsetningargerð og fjöl-loftstýringargerð; í samræmi við mismunandi ofnagerðir, 12-28 tommur, getur það unnið stórt þvermál, þunnt-veggað og sérlaga staðsetningarróf og önnur mannvirki, með vinnsluþol sem nær ±0,01 mm.
Skilvirkni stökk Nákvæmni og stöðugleiki
Leiðbeiningar um loftflæði: Stjórnaðu flæðisstefnu argon gasvörnarinnar í ofninum til að láta gasið flæða eftir forstilltri leið, fjarlægja snefilóhreinindi og hita sem gufar upp frá kísilvökvayfirborðinu og koma á stöðugleika í innra andrúmslofti ofnsins.
Innilokun hitasviðs: Með því að nýta framúrskarandi hitaeinangrun og hitaleiðni eiginleika grafíts, takmarka geislamyndahitasviðið, draga úr hitamun inni í ofninum og koma í veg fyrir að kristalstöngin myndi færslur og sprungur vegna óeðlilegs staðbundinnar hitamun.
Leiðbeiningar um vélræna takmörk: Veittu geislamyndaða staðsetningu fyrir einkristal kísilstöngina meðan á toga stendur til að koma í veg fyrir að kristalstöngin sveiflist eða hallist, tryggðu að kristalstöngin vaxi lóðrétt og kóaxískt og dragi úr framleiðslugöllum eins og broti og skakkum stöngum.
Kjarna vinnuregla
Hindrunarvörn: Komið í veg fyrir að há-kísilgufa og kolefnisduft skvettist upp á við, forðast að þær festist við kristalstöngina, efri einangrunarhluta ofnhússins og sjónræna athugunargluggann, sem tryggir stöðugt og stöðugt ferli við að draga kristal.
Hrein vörn: Hið -hreinleika undirlag losar ekki skaðleg óhreinindi og kemur í veg fyrir að málm- og öskuóhreinindi blandast inn í kísilbræðsluna og kristalstöngina alveg frá upphafi.
Kjarnaframmistöðueiginleikar (með gagnastuðningi)
(1) Ofur-mikill hreinleiki, mikill hreinleiki (kjarnakostur)
Með því að nota há-djúphreinsunartækni er fasta kolefnisinnihaldið meira en eða jafnt og 99,99% (4N) og fyrir úrvalsgerðina getur það náð 99,999% (5N); öskuinnihaldið er minna en eða jafnt og 50 ppm og málmóhreinindi (Fe, Al, Ca, Cu, osfrv.) eru minna en eða jafnt og 1 ppm. Í lofttæmiumhverfi með háum-hita er engin rokgjörn eða málmgufuútblástur, sem mun ekki menga kísilbræðsluna og einkristalla kísilstöngina, sem tryggir líftíma minnihluta burðarbera og ljósrafmagnsbreytingarskilvirkni kísilskífunnar og uppfyllir kröfur um háhraða{11}ljósrafmagnsferli og{11}hálfrennslisferli.
(2) Ísótrópísk pressun, ísótrópísk, stöðug uppbygging
Kalt jafnstöðug þrívíddarpressumótun, með samræmdan efnisþéttleika og enga stefnu, rúmmálsþéttleikinn er 1,85~1,95 g/cm³. Vélrænni og varmaeiginleikar eru samkvæmir í allar áttir, og það skekkist ekki, afmyndast eða sprungur við langvarandi-háan-hitahring og viðheldur nákvæmum mörkum.
(3) Mjög há-hitaþol, framúrskarandi hitastöðugleiki og hitaáfallsþol
Undir lofttæmi / óvirku andrúmslofti argon er langtímanotkunarhitastigið 1400~1600 gráður og endanlegt hitastig getur náð 2200 gráður; hitastækkunarstuðullinn er aðeins 4,0 ~ 4,8 × 10⁻⁶ / gráðu (stofuhiti upp í 1500 gráður), með afar lítilli varmaþenslu og samdrætti. Vegna tíðar hitabreytinga og hraðri kælingu og upphitun eins-kristalsofnsins er hægt að nota hann stöðugt í langan tíma, án þess að hætta sé á sprungum eða losun.
hver velur okkur?
1. Tæknilega háþróaður: Að ná sjálfstætt tökum á kjarnatækni há-hreinleika grafíts, ná 4N/5N hreinleikastaðlum og húðunin er sjálfstætt þróuð og endingarbetri;
2. Stöðug gæði: Fullt-gæðaeftirlit með ferli + alþjóðlegar vottanir, með mikilli víddarnákvæmni og stöðugri afköstum við háan-hita;
3. Fljótleg aðlögun: Fullkomlega samhæft við 12-28 tommur af öllum ofnagerðum, hægt er að framleiða sýni innan 7 daga og lotuafhending er hægt að ljúka innan 15 daga;
4. Kostnaðar-hagkvæmt: Lóðrétt aðfangakeðja, verðið er 30% lægra en innfluttar vörur, með afslætti fyrir magnpantanir;
5. Frábær þjónusta: Tvíþætt-tungumál tækniaðstoð + tollafgreiðslu í samræmi við + 1-ársábyrgð, studd af leiðandi viðskiptavinum.
einn-lausn
fagteymi
hágæða
| Atriði | Dæmigert gildi | Athugasemdir |
|---|---|---|
| Hreinleiki kolefnis | Stærra en eða jafnt og 99,99% (4N) / Stærra en eða jafnt og 99,999% (5N) | Heildar óhreinindi Minna en eða jafnt og 100 ppm (4N); Minna en eða jafnt og 10 ppm (5N) |
| Magnþéttleiki | 1,85–1,95 g/cm³ | Kalt jafnstöðupressað, fínkorn og jafntrópískt |
| Beygjustyrkur | Stærri en eða jafnt og 45 MPa | Þrýstistyrkur Stærri en eða jafn og 80 MPa |
| Innihald ösku | Minna en eða jafnt og 50 ppm | Há-hreinsun unnin |
| CTE (RT ~ 1500 gráður) | 4,0–4,8×10⁻⁶ / gráðu | Góður víddarstöðugleiki og hitaáfallsþol |
| Varmaleiðni | 120–150 W/(m·K) | Samræmd hitadreifing |
| Viðnám | 8–15 μΩ·m | Jafnvel rafleiðni |
| Stöðugt vinnutemp. | 1400 ~ 1600 gráður (Vacuum / Ar) | Hámark 2200 gráður undir óvirku andrúmslofti |
| Hámarkshiti. í lofti | Minna en eða jafnt og 450 gráður (óhúðuð) | Allt að 1800 gráður með SiC húðun |
| Kornastærð | Minna en eða jafnt og 10 μm | Þétt uppbygging fyrir mikla nákvæmni vinnslu |
| Valfrjáls húðun | SiC / PYC (Pyrolytic Carbon) | Anti-kísilíferð, lengri endingartími |
maq per Qat: háhreinleiki jafnstöðugrind grafítstýringarhringur fyrir cz einkristalla ofn, Kína háhreinleiki ísóstatískur grafítstýringarhringur fyrir cz eins kristalsofna framleiðendur, birgja, verksmiðju
