Wafer grafít burðarefni
Jincheng Graphite, sem faglegur upprunaframleiðandi obláta grafítburðarefna, veitir háan-hreinleika og-stöðugleika oblátagrafítburðarefna. Það er sérstaklega hannað fyrir há-hitaferli í hálfleiðaraframleiðslu, með framúrskarandi varma einsleitni, tæringarþol og langan líftíma. Það er mikið notað á nákvæmnissviðum eins og oblátuvinnslu og steinþrykk.
Kjarnastyrkir
Nanó-kvarða grafít undirlag
Með því að nota há-hreinleika grafít (með kolefnisinnihald sem er meira en eða jafnt og 99,99%) og samsett ferli úr málmi nær hitaleiðni allt að 300 W/m·K, sem tryggir jafnt hitastig á yfirborði skífunnar og dregur úr hættu á skekkju af völdum hitaálags.
Samhæfni við tómarúm umhverfi
Þolir mjög hitastig á bilinu -200 gráður til 3000 gráður, hentugur fyrir lofttæmisferli eins og steinþrykk og ætingu, og hefur framúrskarandi tæringarþol, samhæft við efnalofttegundir eins og vetni og köfnunarefni.
Sérsniðin aðlögunarhæfni
Styður ýmsar oblátastærðir (eins og 12 tommu og 8 tommu) og sérstaka yfirborðsmeðferðarferli, sem uppfyllir nákvæmar kröfur fyrir mismunandi framleiðslusvið hálfleiðara.
Umsóknarsviðsmynd
Lithography ferli fyrir oblátur
Við beitingu ljósþolnar veitir grafítburðarefnið stöðugt hitauppstreymi umhverfi, sem dregur úr aflögunarvandamálum skúffunnar sem stafar af hitamun.
Há-ætingarbúnaður
Við plasmaætingu getur mikil varmaleiðni burðarefnisins dreift hita fljótt og verndað yfirborð skúffunnar gegn skemmdum af völdum hás hita.
Tómarúmsútfellingarkerfi
Samhæft við CVD, PVD og aðra ferla, tryggir að diskurinn haldi flatleika við háan-hitaútfellingu og bætir afraksturshraðann.
Tæknilýsing
| Varmaleiðni | 250 - 400 W/m·K (sérsniðið) |
| Rekstrarhitasvið | -200 gráður til 3000 gráður |
| Samhæfðar lofttegundir | Vetni, köfnunarefni, argon o.s.frv. (hálfleiðara ferli lofttegunda) |
| Yfirborðsmeðferð | Plasma fægja / húðun (valfrjálst) |
Jincheng grafíttæknitrygging
Byggt á 20 ára reynslu af grafítefnisrannsóknum og þróunarreynslu, notar Jincheng Graphite einkaleyfi á lofttæmi samsettri tækni og nanómetra-grafítfyllingartækni til að tryggja langtímastöðugleika burðarefnisins við erfiðar aðstæður. Varan hefur staðist ISO 9001 gæðakerfisvottun og AS9100 loftrýmisstaðla og uppfyllir strangar kröfur hálfleiðaraframleiðslu um varmastjórnun.
Samstarfsskuldbinding
Jincheng Graphite býður upp á fulla-ferla sérsniðna þjónustu frá hönnun, framleiðslu til-eftirsölu, styður litla-lotuprófaframleiðslu og stór-aðlögun, sem tryggir stuttan afhendingarferil og stjórnanlegan kostnað. Í gegnum alþjóðlegt flutningsnet og staðbundin þjónustuteymi veitir það viðskiptavinum skilvirkar og áreiðanlegar lausnir fyrir obláta grafít burðarefni, sem hjálpar til við að uppfæra framleiðsluferli hálfleiðara.
maq per Qat: oblátaframleiðsla grafít, Kína oblátaframleiðsla grafítframleiðendur, birgjar, verksmiðja
